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电子与光学类实验室半导体与微电子实验室洁净要求：ISO3-5级（1~百级），控制0.1μm微粒（如光刻车间需ISO3级）。关键设备：AMC（气态分子污染物）过滤系统、温湿度精度±0.1℃。光学器件实验室洁净要求：ISO5级（百级），避
