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净化工程总承包服务
如何处理洁净室内的有害废气？
2025-07-10
1.源头控制与工艺优化密闭操作：在产生废气的工艺设备（如刻蚀、沉积设备）上加装密闭罩，减少气体外泄。替代材料：优先选用低毒性或无害的工艺气体（如用氮气替代部分易燃气体）。工艺调整：优化参数（如温度、流量）减少废气生成量。2.局部排风与收
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气体纯化系统在半导体洁净室中的作用是什么？
2025-07-09
气体纯化系统在半导体洁净室中的作用主要包括以下几个方面：去除杂质半导体制造对气体纯度要求严格，气体纯化系统可有效去除气体中的水分、氧气、颗粒物及有机污染物，防止杂质影响工艺质量。保障工艺稳定性高纯气体是光刻、蚀刻、沉积等关键工艺的基础，纯化
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化学品存储间在洁净室中的安全规范有哪些？
2025-07-08
化学品存储间在洁净室中的安全规范主要包括以下几个方面：分类存储化学品应按照相容性分类存放，避免不相容物质接触引发反应。易燃、腐蚀性、有毒等危险化学品需单独分区存放，并明确标识。通风要求存储间应配备独立的通风系统，确保空气流通，防止有害气体积
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如何防止VOC（挥发性有机物）污染洁净室？
2025-07-07
一、源头控制措施材料准入管理墙面：无溶剂环氧树脂涂层（VOC释放量≤50μg/m³）密封胶：通过ISO16000-9认证建筑材料选用低挥发产品（如：设备进场前进行72小时VOC脱气测试工艺优化溶剂型工艺改为水性体系（如UV固化替代传统喷涂
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洁净室内特殊气体（如氮气，氩气）管道如何设计？
2025-07-07
一、管道系统设计原则材料选择主管道：采用316L不锈钢（EP级抛光，Ra≤0.8μm）终端连接：使用Swagelok/VCR接头（氦质谱检漏率＜1×10⁻⁹Pa·m³/s）标识要求：管道外壁色环标识（氮气-黄色，氩气-灰色）布局规范独立敷
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实验室的智能化监控系统（温湿度，压差，粒子数）如何集成
2025-06-27
实验室智能化监控系统的集成方案一、系统架构设计采用分布式传感网络架构温湿度监测节点：每20平方米部署1个无线传感单元压差监测点：在洁净区与非洁净区交界处设置粒子计数器：关键操作区域定点安装通信协议配置•工业以太网主干网络•无线ZigBe
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